Aplikácia molybdénovej kapiláry v procese ALD

Rúrka na vstrekovanie prekurzorového plynu: Zariadenie ALD zvyčajne vyžaduje presné dodanie kovových-organických prekurzorov (napr. TMA, TDMAH atď.) a reakčných plynov (napr. O3, H2O, NH3) do reakčnej komory. Vzhľadom na ich malý vnútorný priemer (zvyčajne v rozsahu 0.2- 2 mm) a rovnomernú hrúbku steny sú molybdénové kapiláry široko používané ako vstrekovacie potrubia v blízkosti striekacej hlavy, ktoré môžu dosiahnuť rýchlu odozvu plynu a presnú distribúciu.

Pulzný ventil po prúde prívodné potrubie: Po rýchlom prepnutí ventilu môže molybdénová kapilára účinne zadržať plyn a pulzný koniec, čím sa zabezpečí vysoký stupeň konzistencie dávky v každom cykle.
Vysokoteplotná{0}izolačná a ochranná trubica: Niektoré zariadenia ALD je potrebné umiestniť v blízkosti vysokoteplotnej-základne. Molybdénová kapilára vydrží prevádzkovú teplotu 500-1200 stupňov a neuvoľňuje kovové ióny, ktoré by znečistili film.

Vysoká teplotná stabilita: Proces ALD sa často vykonáva pri 200-500 stupňoch alebo dokonca vyšších teplotách. Bežné rúrky z nehrdzavejúcej ocele alebo kremeňa sú náchylné na častice alebo deformáciu počas používania, zatiaľ čo kapiláry z molybdénu môžu fungovať stabilne.

Vysoká čistota a nízke zrážanie: Molybdén vysokej čistoty (nad 99,95 %) má extrémne nízky obsah nečistôt a nevnáša uhlík, kyslík a iné prvky, ktoré ovplyvňujú elektrické vlastnosti filmu do reakčného plynu.

Vynikajúca tepelná vodivosť a odolnosť proti tepelným šokom: Dokáže rýchlo sledovať zmeny teploty v dutine, kondenzáciu alebo rozklad prekurzorov.

Vysoká rozmerová presnosť: Tolerancie vnútorného priemeru a hrúbky steny sú prísne kontrolované, aby sa zabezpečila konzistencia toku plynu medzi rôznymi dutinami, čo je obzvlášť dôležité pre hromadne -vyrábané veľké- doštičky (napríklad 300 mm).

Pri nanášaní vysoko{0}}k hradlových dielektrík (HfO2, ZrO2), kovových hradel, bariérových vrstiev (TiN, TaN) a vznikajúcich 2D materiálov môže použitie molybdénových kapilár výrazne zlepšiť:
-rovnomernosť hrúbky filmu (v rámci-jednotnosti plátku)
-medzi{1}}opakovateľnosť šarže
-Prevádzkový cyklus zariadenia (údržba z dôvodu kontaminácie potrubia)

V súčasnosti niektoré špičkové{0}}modely medzinárodných bežných dodávateľov zariadení ALD (ako sú ASM, Veeco, LAM atď.), ako aj pokročilé výrobné linky mnohých domácich tovární, uprednostňujú molybdénové kapiláry v kľúčových cestách plynu.

Hoci molybdénová kapilára je len malou časťou v systéme ALD, priamo súvisí s presnosťou a spoľahlivosťou dodávky plynu na "poslednej míli". V súčasnosti sa proces ALD čoraz viac usiluje o vysokú jednotnosť, nízke defekty a vysoký výkon a stal sa dôležitou podporou na zabezpečenie stability procesu.

Ak ste v procese výberu zariadenia ALD, transformácie alebo optimalizácie procesu, uvítajte, ak poskytnete špecifické požiadavky na typ prekurzora, prevádzkovú teplotu a priemer potrubia; Môžem vám pomôcť cielenejšie analyzovať kľúčové body výberu.